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Produktliste
Cluster- und Inline-Anlagen
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Transferkammern und Prozessmodule für Sputter- und RIE-Prozesse.
Anbieter: Aurion Anlagentechnik GmbH 63500 Seligenstadt
HF-Komponenten
Hochfrequenztechnische Komponenten wie automatische Impedanz-Anpassungsnetzwerke (Matchboxen), Schalter, Filter, Power Splitter, Phasenschieber u.a.
Anbieter: Aurion Anlagentechnik GmbH 63500 Seligenstadt
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