Aurion Anlagentechnik GmbH
Am Sandborn 14
D-63500 Seligenstadt
D-63500 Seligenstadt
| Rechtsform: | GmbH |
| Handelsregister: | HRB 22790 |
| Registergericht: | Offenbach am Main |
| Geschäftsführung: | Joachim Scherer |
| Ust.-ID: | DE 184 333 549 |
| Gesellschafter/-in: | - |
| Die Angaben im Impressum unterliegen dem Verantwortungsbereich des jeweiligen Unternehmens. | |
- Impressum
Produktbeschreibung
Produkt:Cluster- und Inline-Anlagen
Artikelnummer: keine Angabe
Hersteller: keine Angabe
Herstellernummer: keine Angabe
EAN-Code: keine Angabe
Cluster-Anlagen
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Transferkammern und Prozessmodule für Sputter- und RIE-Prozesse.
Inline-Anlagen
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Vorbehandlungskammern und Sputterkammern. Die Ausrichtung ist vertikal oder horizontal.
