Produkt:Inertialsensoren

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Hersteller: First Sensor AG

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Inertialsensoren

First Sensor verfügt über eine hochinnovative Technologieplattform zur Herstellung hochgenauer Inertialsensoren für Anwendungen im Bereich Geo-Engineering, Zustandsüberwachung und Navigation. Die MEMS-Sensoren können flexibel an Ihre kundenspezifischen Anforderungen angepasst werden.
Neigungs- und Beschleunigungssensoren

Die kapazitiven Neigungs- und Beschleunigungssensoren basieren auf einkristallinen Silizium-Sensorelementen und neuesten mikromechanischen Herstellungsverfahren. Die MEMS-Sensoren erreichen ein sehr hohes Signal-Rausch-Verhältnis sowie eine hervorragende Temperaturstabilität und erkennen schon kleinste Lage- oder Beschleunigungsänderungen.

Die Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (HARMS) gewährleisten geringste Querempfindlichkeiten. Zusätzlich minimiert die patentierte AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten durch Isolierung der aktiven Bereiche mittels Luftspalt.
Entwicklungsplatinen

Es stehen verschiedene Entwicklungsplatinen für die einfache und schnelle Auswertung der Sensorsignale zur Verfügung.